Хусусиятҳои асосии иҷроиш ва сохтор:
1. Ҳисобкунаки зичии минтақа ва бимирад метавонад назорати ҳалқаи пӯшидаро ташкил диҳад.
Системаи 2.CCD бо назорати даврии пӯшида барои муайян кардани андоза.
3.Лентаи қатъкуниро дар партовҳо часбонед.
4.Duble slurry қабати метавонад дар тарафи ҳамон субстрат Камушки.
5.Дар якҷоягӣ бо системаи MES кор кунед ва идоракунии абрии mote барои таҷҳизот.

Мониторинги сифат ва бозгашт:
1. Ҳисобкунаки зичии минтақа дар рентгени X / B барои муайян кардани онлайн.
Системаи 2.CCD барои андозагирӣ ва ошкор кардани камбудиҳо.
3.NG тамғаи чопи inkjet.
4. Андозагирии ҳарорат тавассути IR дар рӯи электрод дар дохили танӯр.
5.Фарометри оммавӣ ҷараёни, часпак ва ҳароратро онлайн назорат мекунад.
6.Мониторинги консентратсияи NMP барои печи катодӣ ва муайянкунии намӣ барои танӯр анодӣ.